سیستم اسپاترینگ سه کاتده : دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3، اسپاترینگ سه کاتده


شرکـت پوشــش های نانو ساختـار با بیـش از 20 سال تجـربه در زمـینه طـراحــی و سـاخت انــواع سیستم های لایه نشانی در خلأ، سیستم اسپاترینگ تک کاتده,دستگاه پوشش دهی کربنی,اسپاترینگ ,لایه نشانی,میکرو آنالیز,تبخیر حرارتی,لایه نشانی با لیزر پالسی، لایه نشانی به روش pvd، لایه نشانی به روش کند و پاش، لایه نشانی به روش اسپری، لایه نشانی pld، لایه نشانی تبخیر حرارتی، لایه نشانی به روش اسپاترینگ، لایه نشان کربن تحت خلاء و سیستم لایه نشانی رومیزی تحت خلاء از پیشگامان این حوزه در ایران به شمار می رود.


دستگاه اسپاترینگ DST3, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.


DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

1- DST3-A کاتدهای با زاویه
مدل DST3-A با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین بدلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering).

2- DST3-S کاتدهای خطی (یا مستقیم)
مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود 20 سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.


از جمله ویژگی های دستگاه لایه نشانی DST3 به موارد زیر میتوان اشاره کرد:

• منبع تغذیه با جریان 0 تا 1000 میلی آمپر
• منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس
• تنظیم زمان و یا ضخامت فرایند لایه نشانی به صورت دستی و خودکار
• مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانایی کج شدن در جهت کاتد ها را دارد
• دو عدد MFC برای کنترل فشار محفظه خلاء
• کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
• کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
• قابلیت ورود سریع داده ها با استفاده از کنترل لمسی و تمام خودکار
• رسم منحنی های فشار و ضخامت
• انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر
• گاز نیتروژن برای انجام عملیات vent
• برق ورودی: 220V- 50HZ- 16A
• وزن همراه با راک حدود Kg 90
• ابعاد: قطر 50سانتی متر × عرض 65 سانتی متر × ارتفاع 60 سانتی متر

ایمیل: